Die Intel Corporation hat nach eigenen Angaben die weltweit erste kommerzielle EUV Lithographie Anlage in Betrieb genommen und eine Pilotanlage zur Produktion von EUV Masken eingerichtet. Laut Intel wird die derzeitige Belichtungstechnik ihre Grenzen in wenigen Jahren erreicht haben, die Extrem Ultraviolett (EUV) Technik soll ab 2009 in der Massenfertigung eingesetzt werden.
Intel will durch die Verwendung des EUV Micro Exposure Tool (MET) und der Pilotanlage zur Herstellung von EUV Masken Schaltkreise herstellen, deren Strukturen nur rund 30 nm klein sind. Dabei werden die weltweit ersten, für diese Technik erhältlichen Maschinen zum Einsatz kommen. Die Testproduktion dient der Vorbereitung auf eine Auflösung von 15 nm, die bei Eintritt der EUV Lithographie in die Produktion benötigt wird. Zum Vergleich: Die kleinsten Strukturen, die derzeit in den Fertigungsanlagen von Intel hergestellt werden, haben eine Größe von 50 nm. Die EUV Lithographie verwendet Licht mit einer Wellenlänge von nur noch 13,5 nm. Zum Vergleich: Heute eingesetzte Verfahren nutzen Licht der Wellenlänge 193 nm.
Intel will mit dem MET die derzeit noch bestehenden technischen Probleme im Rahmen der Entwicklung der EUV Lithographie lösen. Dazu gehört die chemische Zusammensetzung des Fotolacks, der beim Bedrucken der Chips benötigt wird. Außerdem wird die Auswirkung von Maskendefekten beobachtet. Darunter sind Mängel in der Maske zu verstehen, mit der das Schaltkreismuster auf den Chip übertragen wird. Mit dem MET optimiert Intel zudem die Variablen, die beim Druck der winzigen Strukturen in der Massenfertigung eine Rolle spielen.
Neben dem MET hat Intel auch eine Pilotanlage für die Herstellung von EUV Masken installiert. Sie stellt die Grundlage für die zukünftige Maskenproduktion dar, die Intel intern vornehmen will. Die Pilotanlage koppelt EUV-spezifische Module an den bestehenden, betriebseigenen Masken-herstellungsprozess. Die Anlage verwendet das weltweit erste kommerzielle Tool zur Herstellung von EUV Masken.
Ob brillante Darstellungen dank UHD-4K-Auflösung oder vielfältige Anschlussoptionen dank Thunderbolt 4: Der 68,6 cm (27“) Business-Monitor Philips 27B2U6903 ist mit...
Das deutsche Unternehmen devolo entwickelt seit über 20 Jahren Lösungen zur Heimvernetzung. In einer aktuellen Befragung wollten die Netzwerk-Experten wissen,...
ASUS Republic of Gamers (ROG) präsentiert den ROG Rapture GT-BE19000 Tri-Band WiFi 7 Gaming-Router. Dieses Kraftpaket der nächsten Generation wurde...
Datacolor, bekannt als Anbieter von Farbmanagementlösungen, gab vor wenigen Tagen die Einführung seiner neuesten Spyder-Reihe von Farbkalibratoren bekannt: Spyder und...
Die rasante Entwicklung der digitalen Technologien hat neben zahlreichen Vorteilen auch neue Herausforderungen im Bereich der IT-Sicherheit geschaffen. Mit zunehmender...
Mit der My Passport bietet Western Digital eine mobile externe Festplatte für den Alltag an, die obendrein auch Hardware-Verschlüsselung bietet. Wir haben uns das Exemplar mit 6 TB im Test angesehen.
Mit der Desk Drive Familie bietet SanDisk eine Komplettlösung für die Desktop-Datensicherung an. Die externen Speicher vereinen die Kapazität von HDDs mit der Geschwindigkeit von SSDs. Mehr dazu in unserem Test.
Mit der Hyper-Erweiterungskarte bietet ASUS die Möglichkeit, auch ältere Mainboards auf satte vier M.2-Ports mit PCI Express 5.0 zu erweitern. Wir haben die Karte mit vier FireCuda 540 NVMe-SSDs von Seagate getestet.
Samsung hat seine EVO Plus microSDXC-Speicherkarte neu aufgelegt. Wir haben uns die UHS-I U3 Karte mit A2-Klassifizierung mit 128 GB im Test angesehen und mit anderen Probanden verglichen.